【FANUC】システムアラーム一覧【重大なエラー】

FANUCのブート画面に表示される”システムアラーム”の一覧です。

システムアラーム画面サンプル
重大なエラー発生時に表示されるシステムエラー画面

システムアラーム発生時はブート画面にアラームの詳細が表示されます。

このときPMCは処理を実行しません。

  • ソフトウェア起因
  • ハードウェア起因
  • その他の要因

システムアラームはこれらが原因で発生します。

その他発生したアラームはアラーム内容のまとめページに記載しています。

目次

システムアラーム一覧

001~099

番号 メッセージ 要因 対処方法
001 DATA ACCESS EXCEPTION CNCシステムソフトウェアの内部処理やデータ等に、異常や矛盾が検出されました。 システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
また、システムアラームログを取得の上、ファナックにご連絡ください。
002 INSTRUCTION ACCESS EXCEPTION
003 ALIGNMENT EXCEPTION
004 PROGRAM EXCEPTION
005 FLOATING-POINT UNAVAILABLE
007 SYSTEM CALL EXCEPTION
008 TRACE EXCEPTION
012 INSTRUCTION ADDRESS BREAK POINT
013 SYSTEM MANAGEMENT INTERRUPT
014 FPU-INVALID OPERATION EXCEPTION
015 FPU-ZERO DIVIDE EXCEPTION
016 FPU-OVERFLOW EXCEPTION
017 FPU-INEXACT EXCEPTION
018 UNASSIGNED EXCEPTION
019 ILLEGAL INSTRUCTION PROGRAM EXCEPTION
020 PRIVILEGED INSTRUCTION PROGRAM EXCEPTION
021 TRAP PROGRAM EXCEPTION
022 DATA BUS PARITY ERROR (MCP) CPU内部異常が検出されました
023 ADDRESS BUS PARITY ERROR(MCP)
024 L2 DATA CACHE PARITY ERROR(MCP) システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
025 PROCESSOR INTERNAL ERROR(MCP)
026 CACHE TAG PARITY ERROR(MCP)

100~199

番号 メッセージ 要因 対処方法
103 DRAM SUM ERROR CNCシステムソフトウェアの内部処理やデータ等に、異常や矛盾が検出されました。 システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
また、システムアラームログを取得の上、ファナックにご連絡ください。
109 ZERO DIVIDE ERROR (INTEGER)
110 STACK OVERFLOW (TASK)
111 STACK UNDERFLOW (TASK)
112 STACK OVERFLOW (IRT)
113 STACK UNDERFLOW (IRT)
114 FSSB DISCONNECTION (MAIN -> AMP1) /LINEx FSSBのLINExでアラームを検出しました。
括弧内に表示されたユニット間のFSSB通信ができません。
FSSBケーブルが接続されているメインボードまたはサーボカード、アンプ、別置検出器インタフェースユニットを交換してください。
該当する接続間の光ケーブルの可能性もあります。
115 FSSB DISCONNECTION (MAIN -> SDU1) /LINEx

※SDUは以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

116 FSSB DISCONNECTION (AMPn -> AMPm) /LINEx
117 FSSB DISCONNECTION (AMPn -> SDUm) /LINEx

※SDUは以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

118 FSSB DISCONNECTION (SDUn -> AMPm) /LINEx

※SDU は以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

119 FSSB DISCONNECTION (SDUn -> SDUm) /LINEx

※SDU は以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

120 FSSB DISCONNECTION (MAIN <- AMP1) /LINEx FSSBケーブルが接続されているメインボードまたはサーボカード、アンプ、別置検出器インタフェースユニットを交換してください。
該当する接続間の光ケーブルの可能性もあります。
括弧内の右側のユニットの電源異常も考えられます。
ユニットに入力されている電源に異常は無いか、ユニットに接続されているモータやエンコーダ用のケーブル内でのショートが無いか確認してください。
121 FSSB DISCONNECTION (MAIN <- SDU1) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

122 FSSB DISCONNECTION (AMPn <- AMPm) /LINEx
123 FSSB DISCONNECTION (AMPn <- SDUm) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

124 FSSB DISCONNECTION (SDUn <- AMPm) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

125 FSSB DISCONNECTION (SDUn <- SDUm) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

126 SERVO AMP INTERNAL DISCONNECTION (AMPn) -> /LINEx FSSBのLINExでアラームを検出しました。
括弧内に表示されたアンプの内部で通信データの異常が検出されました。
該当するアンプを交換してください。
127 SERVO AMP INTERNAL DISCONNECTION (AMPn) <- /LINEx
128 FSSB ALARM (UNKNOWN) FSSBでアラームを検出しまし た。 システムアラームログを取得の上、ファナックにお問い合わせ下さい。
129 ABNORMAL POWER SUPPLY (AMPn) /LINEx FSSBのLINExでアラームを検出しました。
括弧内に表示されたユニットの電源異常が検出されました。
該当するユニットに入力されている電源電圧の低下が検出されました。
電源や電源ケーブルの異常が無いか、突入電流等による入力電源の電圧低下が無いか確認してください。
130 ABNORMAL POWER SUPPLY (SDUn) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

134 FSSB LINE DATA ERROR (AMPn >..> MAIN) /LINEx FSSBのLINExでアラームを検出しました。
括弧内に表示されたユニットにおいて異常なデータを受信しました。
該当するユニットを交換してください。
交換後もアラームが発生する場合、前述のユニットよりも前段のスレーブから順番に交換してください。
それでも発生する場合、FSSBケーブルが接続されているメインボードまたはサーボカードを交換してください。
該当する接続間の光ケーブルの可能性もあります。
135 FSSB LINE DATA ERROR (SDUn >..> MAIN) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

138 FSSB OUT OF CORRECTION (MAIN <- AMPn) /LINEx FSSBのLINExでアラームを検出しました。
括弧内に表示された該当箇所のユニット間で通信データがエラーになりました。
括弧内の右側のユニットを交換してください。
該当箇所の他のユニットや、光ケーブルの可能性もあります。
139 FSSB OUT OF CORRECTION (MAIN <- SDUn) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

140 FSSB OUT OF CORRECTION (AMPn <- AMPm) /LINEx
141 FSSB OUT OF CORRECTION (AMPn <- SDUm) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き 換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

142 FSSB OUT OF CORRECTION (SDUn <- AMPm) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

143 FSSB OUT OF CORRECTION (SDUn <- SDUm) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

144 FSSB OUT OF CORRECTION (MAIN -> AMPn) /LINEx 括弧内の左側のユニットを交換してください。
該当箇所の他のユニットや、光ケーブルの可能性もあります。
145 FSSB OUT OF CORRECTION (MAIN -> SDUn) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

146 FSSB OUT OF CORRECTION (AMPn -> AMPm) /LINEx
147 FSSB OUT OF CORRECTION (AMPn -> SDUm) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き 換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

148 FSSB OUT OF CORRECTION (SDUn -> AMPm) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き 換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

149 FSSB OUT OF CORRECTION (SDUn -> SDUm) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き 換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

150 SLAVE DMA BUS FAILURE (AMPn) /LINEx FSSBのLINExでアラームを検出しました。
括弧内に表示されたユニットの内部回路でエラーが検出されました。
該当するユニットを交換してください。
151 SLAVE DMA BUS FAILURE (SDUn) /LINEx

※ SDU は以下のメッセージに置き 換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

152 SLAVE LSI DMA BUS FAILURE (AMPn) /LINEx
153 SLAVE LSI DMA BUS FAILURE (SDUn) /LINEx

※ SDUは以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

154 SLAVE LOCAL ERROR NO.1 (AMPn) /LINEx
155 SLAVE WATCH DOG ALARM (AMPn) /LINEx
156 SLAVE LOCAL ERROR NO.2 (SDUn) /LINEx

※SDUは以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

157 SLAVE LOCAL ERROR NO.3 (AMPn) /LINEx
158 SLAVE LOCAL ERROR NO.3 (SDUn) /LINEx

※SDUは以下のメッセージに置き換わることがあります。

ASVU, SDU(ANALOG), SDU(ANLG+DGTL), SERVO CHECK, FSSB I/O

159 SPINDLE RAM FAILURE(AMPn) /LINEx
160 SPINDLE WATCH DOG ALARM (AMPn) /LINEx
192 ITPCON DELAYED ERROR (CNC DETECTED) CNCシステムソフトウェアの内部処理やデータ等に、異常や矛盾が検出されました。 システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。また、システムアラームログを取得の上、ファナックにご連絡ください。
194 I/O LINK I ALARM I/O Link iで通信エラーが発生しました。 I/O Link iで通信エラーが発生しました。以下の原因が考えられます。
(1)スレーブ機器の瞬断、電圧変動、電源ケーブルの不良
(2)通信ケーブルの不良、接続不良
(3)ノイズ
(4)スレーブ機器の故障詳細は以下を参照ください。

PMCプログラミング説明書
(B-64513JA/03)12.1.2PMCシステムアラームメッセージ本書付録A.2.2 PMCシステムアラームメッセージ

195 I/O LINK ALARM I/O Linkで通信エラーが発生しました。 I/O Linkで通信エラーが発生しました。以下の原因が考えられます。
(1)スレーブ機器の瞬断、電圧変動、電源ケーブルの不良
(2)通信ケーブルの不良、接続不良
(3)ノイズ
(4)スレーブ機器の故障詳細は以下を参照ください。

PMCプログラミング説明書
(B-64513JA/03)12.1.2 PMCシステムアラームメッセージ12.2 I/O Link通信エラーの内容と対処方法本書付録A.2.2 PMCシステムアラームメッセージ

196 PMC WATCH DOG ALARM PMCシステムソフトウェアが動作していません。 PMCのプロセッサの動作が停止した時に発生するアラームです。メインボードの故障が考えられますのでこれを交換してください。
197 EMBEDDED SOFTWARE SYSTEM ERROR I/O Link,PMCで異常が検出されました。
CNCシステムソフトウェアの内部処理やデータ等に、異常や矛盾が検出されました。
システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
不良部位が異なる場合もありますので、システムアラームログを取得の上、ファナックにご連絡ください。
198 SOFTWARE SYSTEM ERROR CNCシステムソフトウェアの内部処理やデータ等に、異常や矛盾が検出されました。
199 NON MASK INTERRUPT PMC、付加オプションボード等にて、異常が検出されました。

400~499

番号 メッセージ 要因 対処方法
400 REGISTER ACCESS ERROR ASICの状態レジスタにアクセス出来ません。 システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3 行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
また、システムアラームログを取得の上、ファナックにご連絡ください。
401 EXTERNAL BUS INVALID ADDRESS CNC上のバスにおいて異常が検出されました。
CNCシステムソフトウェアの内部処理やデータ等に異常や矛盾が検出されました。
システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
この他にメインボード、システムアラーム画面に表示されている“MASTER PCB”,“SLAVE PCB”の不良の可能性もあります。
また、このエラーは外来ノイズによって引き起こされることがあります。
ノイズ源が近くにないか、アースがしっかりとられているか確認して下さい。
また、システムアラームログを取得の上、ファナックにご連絡ください。
402 INTERNAL BUS INVALID ADDRESS 不正なアドレスへのアクセスが 検出されました。
CNCシステムソフトウェアの内部処理やデータ等に異常や矛盾が検出されました。
システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3 行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
また、システムアラームログを取得の上、ファナックにご連絡ください。
403 S-BUS TIMEOUT ERROR CNC上のバスにおいて異常が検出されました。 システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
この他にメインボード、システムアラーム画面に表示されている“MASTER PCB、“SLAVE PCB”の不良の可能性もあります。
HSSBでPCも接続している場合、ノイズ等による正常処理でないPCの再起動や、パワーマネージメント機能によるスタンバイモードへの移行、復帰により本アラームが発生する可能性があります。
パワーマネージメント機能が使用されていないこと、電源に問題が無いか、また、PCのアプリケーションログとシステムログに、システムアラームと同じ時刻に問題のあるログが何か記録されていないか確認してください。
404 ECC UNCORRECTABLE ERROR システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
この他にメインボード、システムアラーム画面に表示されている“MASTER PCB”,“SLAVE PCB”の不良の可能性もあります。
また、このエラーは外来ノイズによって引き起こされることがあります。
ノイズ源が近くにないか、アースがしっかりとられているか確認して下さい。
405 EXTERNAL BUS ARBITRATION ERROR (xxxx) CNC上のバスにおいて異常が検出されました。 システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
406 INTERNAL BUS ARBITRATION ERROR (xxxx)
410 CPU LOCAL DRAM ERROR CPUバスにおいて異常が検出されました。
411 CPU BUS ILLEGAL TRANSACTION CPUバスにおいて異常が検出されました。
CNCシステムソフトウェアの内部処理やデータ等に異常や矛盾が検出されました。
システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
また、システムアラームログを取得の上、ファナックにご連絡ください。
412 CPU CORE VOLTAGE ALARM CPUの電源に異常が発生しました。 システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
413 CPU CARD LADDER CODE ERROR ラダーデータの異常が検出され ました。
414 I/O LINK COMMUNICATION ERROR (CH4) CPUカード、またはメインボードにて原因不明のエラーが発生しました。
415 I/O LINK COMMUNICATION ERROR (CH3)
416 CPU ASIC RAM PARITY ERROR ASIC内部メモリで異常が検出されました。
417 EXTERNAL INVALID ADDRESS RAM ACCESS ASICの内部メモリへの異常アクセスを検出しました。
420 SERVO LOCAL BUS ECC ERROR サーボ制御バスにおいて異常を 検出しました。
421 SERVO LOCAL BUS INVALID ADDRESS
422 SERVO DMA BUS PARITY ERROR
423 DSP DETECT ERROR サーボ制御にて異常を検出しま した。FSSBの光ケーブルの線長が規定値以上の可能性があります。 FSSBの光ケーブルの線長を確認してください。
問題なければ、システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
424 SERVO EXTERNAL SRAM PARITY ERROR サーボ制御用RAMのアクセス異常を検出しました。 システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
425 SERVO ASIC RAM PARITY ERROR サーボ制御用ASIC内部のRAMのアクセス異常を検出しました。
426 SERVO WATCH DOG ALARM サーボ制御においてウォッチド ッグエラーが発生しました。
427 SERVO ITP WATCH DOG ALARM サーボ制御においてウォッチド ッグエラーを検出しました。
428 DSP PWM COMMAND MISS サーボ指令の書き込みタイミン グミスが発生しました。
429 SERVO ITP SYNC ERROR サーボカード上で同期信号のズ レが検出されました。
430 SERVO DMA BUS PARITY ERROR FSSBのデータ転送バスでパリ ティが発生しました。
431 SERVO LOCAL BUS ERROR サーボ制御ローカルバスにおい て異常が検出されました。
432 ILLEGAL DMA OPERATION サーボ制御用ASICに対する異常な設定が発生しました
433 FSSB LSI RAM FAILURE FSSB用ASIC内部のRAMのアクセス異常を検出しました。
434 SPINDLE DATA ERROR CNCが受信したスピンドルアンプからのデータにエラーが検出されました。
435 NOISE ON CNC UNIT (SEMG_S) CNCの内部バスで要因不明のエラーが検出されました。
436 DSP COMMUNICATION RAM PARITY ERROR サーボ制御用ASIC内部のRAMのアクセス異常を検出しました。
440 GUI ASIC RAM PARITY ERROR グラフィックまたはパソコン機 能用RAMのアクセス異常が検出されました。 メインボードを交換して下さい。
441 TIME OUT ERROR (FROM) アクセス異常が検出されまし た。 FROM/SRAMモジュールを交換して下さい。
交換後も復旧しない場合は、メインボードを交換して下さい。
442 TIME OUT ERROR (VGAC) メインボードを交換して下さい。
443 PERIPHERAL ASIC(SIC) PARITY ERROR メインボードまたはオプション ボード上のASIC内メモリに異常が検出されました。 システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
444 DETECT POWER OFF ON HSSB UNIT CH2のHSSBに接続されている ユニットの電源切断か異常が検 出されました。 CH2のサブ側ユニットの電源が切断していないか、あるいはプリント板異常がないか確認して下さい。
445 DETECT POWER OFF ON HSSB UNIT CH1のHSSBに接続されている ユニットの電源切断か異常が検 出されました。 CH1のサブ側ユニットの電源が切断していないか、あるいはプリント板異常がないか確認して下さい。
446 HSSB PC SIDE LSI ERROR パソコン機能側HSSB用コモンRAMのアクセス異常が検出されました。 パソコン機能側HSSB回路が実装されているプリント板を交換して下さい。
447 HSSB COMMUNICATION ERROR (CH2) CH2のHSSB通信において問題 が発生しました。電源系の問 題、外来ノイズの影響、コネク タ接触不良、HSSBケーブル断 線、両側のプリント板の不良が 考えられます。 CH2のHSSBの両側のプリント板を交換して下さい。
復旧しない場合、CH2のHSSBケーブルを交換して下さい。
448 HSSB COMMUNICATION ERROR (CH1) CH1のHSSB通信において問題 が発生しました。電源系の問 題、外来ノイズの影響、コネク タ接触不良、HSSBケーブル断 線、両側のプリント板の不良が 考えられます。 CH1のHSSBの両側のプリント板を交換して下さい。
復旧しない場合、CH1のHSSBケーブルを交換して下さい。
449 HSSB ASIC RAM PARITY ERROR メインボード上のHSSB用コモ ンRAMでパリティエラーが検出されました。 ファナックにお問い合わせ下さい。
450 I/O LINK COMMUNICATION ERROR (CH1) PMCにて原因不明のエラーが発生しました。 システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
451 I/O LINK COMMUNICATION ERROR (CH2)
453 NETWORK(PHI) EXTERNAL ERROR ネットワークシステムで異常が 検出されました。
454 SYSTEM OVERHEAT(CONTROL UNIT) AND SHUTDOWN CNC制御部の異常高温を検出しました。 CNC制御部周囲温度が規定温度以内であるか確認してください。
ファンが正常動作しているか確認してください。上記に異常がない場合には、メインボードを交換してください。
455 FAN MOTOR STOP AND SHUTDOWN CNC制御部のファンに異常が検出されました。 ファンを交換して下さい。
456 NETWORK(PHI) SOFTWARE NMI ネットワークのシステムソフト ウェアで異常が検出されまし た。 システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3 行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
457 NETWORK(PHI) DRAM PARITY ERROR ネットワークシステムのメモリ で異常が検出されました。
458 NETWORK(PHI) SRAM PARITY ERROR
459 PMC ASIC SRAM PARITY ERROR PMCのメモリで異常が検出されました。 メインボードを交換して下さい。
システムアラーム画面(あるいはシステムアラームログ)の3 行目に表示されている最も可能性の高い不良部位を交換して下さい。
460 PMC DRAM PARITY ERROR
461 PMC SOFT NMI PMCシステムソフトウェアで異常が検出されました。
462 PMC ITP WATCH DOG ALARM CNC・PMC間インタフェースの異常を検出しました。(ITP信号の異常)
463 UNDEFINITION HARDWARE ERROR 未定義のエラーが検出されまし た。
464 ASIC VOLTAGE ALARM ASICの電源に異常が発生しました。 メインボードを交換して下さい。

500~599

番号 メッセージ 要因 対処方法
500 SRAM DATA ERROR (SRAM MODULE) FROM/SRAMモジュール上の SRAMデータの異常が検出され ました。 バックアップ電池の電圧低下を確認してください。
また、一体形ユニットにおいては、ケースを取り外した状態で放置されたことが無かったかご確認ください。
上記に該当する場合にはハード故障ではありませんので、電池の交換、ケースの取り付け後SRAMのオールクリア操作を行い、復旧させてください。
上記に該当しない場合には、FROM/SRAMモジュールを交換して下さい。
交換後も復旧しない場合は、メインボードを交換して下さい。
501 SRAM DATA ERROR (BATTERY LOW DURING POWER OFF) 電源がOFFされているあいだに CNC制御部のバッテリ電圧が低下し、FROM/SRAMモジュール上のSRAMデータの異常が検出されました。
502 NOISE ON POWER SUPPLY 電源系の異常です。
CNCの電源にノイズ、瞬断が起きた事を示しています。
異常の原因を特定し、除去して下さい。SRAMのデータが壊れる可能性もあります。
503 ABNORMAL POWER SUPPLY (MAIN BOARD) メインボード上の電源に異常が 発生した事を示しています。 入力電源(DC24V)へのノイズの混入、瞬停がないか確認ください。電源ユニットを交換してください。

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